检测室内,神光1x射线光刻机正在运转着,一群工作人员依旧在孜孜不倦的测试和调整。作为中芯国际的首席技术执行,官李伟光技术水平还可以,他两眼放光盯着眼前的庞然大物,这是多么美妙的工业之花。李伟光心想,希望这台光刻机是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。高致远指着光刻机介绍道:“大家眼前的这台光刻机,就是我们神光仪器研发神光1x射线光刻机,具体技术指标,想必大家已经有所了解了。”/李伟光、赵军等人当然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1x射线光刻机的技术指标,他们半路上已经研究过。“高总,贵方的光刻机精度真的可以达到10~7纳米?”李伟光急促的问道。“我知道大家非常怀疑,一旁有八寸硅片,中芯国际应该有带技术员过来吧?”李伟光点了点头。高致远指着一侧的库房继续说道:“你们可以派人拿着硅片,和我们的员工一起进行光刻测试。”“那我们就恭敬不如从命了。”李伟光转过头向中芯国际的人吩咐道:“张工、李工,麻烦你们了。”俩中年技术员麻利动手,他们借助工具小心翼翼的将硅片取出。这些硅片不仅仅价格昂贵,而且非常脆弱,别说摔地上了,哪怕是空气最好也别直接接触,因为沾染上灰尘会非常麻烦。将两片硅片送入专门的清洁设备之中,然后涂抹光刻胶,将光刻胶摊平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻胶。其中的工序非常繁杂,也不能有一丝失误,这不仅仅考验机器设备,也考验技术员的水平。要是其中一个环节出现失误,不仅白忙活了半天,硅片、光刻胶、清洁液这些耗材就白白浪费了,这些都是真金白银。怪不得说科研就是在烧钱。一个多小时过去,终于到了硅片光刻的步骤,一块八寸硅片被光刻机的自动化设备送入其中。为了避免影响光刻效果,李工通过一个小窗口的透镜观察了硅片一会,便将小窗口关闭,让光刻室形成一个暗箱。张工则在电脑上面挑选着一些掩模模板(电路图母板),随便挑选了其中一个模板,输入尺寸调整。因为不同的芯片电路图,需要的面积不一样,因此一块硅片可以刻出多少颗芯片,是要根据实际情况来调整的。工作人员们都是用简单的手势来交流着,在这种高精密的设备周围,哪怕是说话大声一点,都可能影响到光刻结果。光刻开始。大约16秒左右,被光刻完成的硅片便出现另一侧的出口。然后又快速加工了第二块硅片,同样是16秒左右出来。在检测室外面的赵军、李伟光、方龙等人,都紧紧盯着那两块光刻完成的硅片。张工和李工用特制的设备,一人负责一块硅片,转移到隔壁的电镜检测室里面。电子显微镜下,硅片上的电路图纹路和模板一模一样,唯一区别就是尺寸。“竟然真的可以做到7纳米,不可思议。”李工看着电子显微镜惊叹道。“不仅仅如此,x射线光刻出来的纹路非常整齐细腻,真是一个杰作。”张工补充道。俩人对于两块硅片进行了非常全面的检测,最后生成两份检测报告。在
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